化學熱處理有以下三個基本過程：

1、分解。化學熱處理是把工件放在含有要滲入元素的活性介質中進行的。這是因為只有活性原子才易于被工件的表面所吸收。分解就是將含有滲入元素的滲劑，在一定溫度下進行分解反應，產生活性原子的過程。

2、吸收。吸收就是活性原子被工件的表面所吸附，然后溶入基體金屬中。活性原子溶入鐵的晶格中形成固溶體。碳、氮等原子半徑較小的非金屬元素溶入鐵中形成間隙式固溶體；金屬元素滲入鋼中，則大多數形成置換固溶體。

3、擴散。活性原子被工件的表面吸收后，提高了滲入元素在表面層的濃度，使得里層與表面之間產生了濃度差，即濃度梯度。在一定的溫度下，原子會自發(fā)地沿著濃度梯度下降的方向作定向移動，經過一定的時間，形成一定厚度的擴散層，即滲層，這一過程稱為擴散。滲入元素在表面層的濃度最高，由表及里，隨著與表面距離的增加，濃度逐漸下降。